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廣東匯成真空科技股份有限公司
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真空鍍膜設備有哪些監控方法

隨著基礎工業及高新技術產品的發展,對優質、高效表面改性及涂層技術的需求向縱深延伸,國內外在該領域與相關學科相互促進的局勢下,表面改性與涂層工藝模擬和性能預測等方面都有著突破的進展。今天我們就聊聊真空鍍膜設備如何監控的方法。


  1、目視監控:使用眼睛監控,因為薄膜在生長的過程中,由于干涉現象會有顏色變化,我們就是根據顏色變化來控制膜厚度的,此種方式有一定的誤差,所以不是很準確,需要依靠經驗。


 2、極值監控法:當膜厚度增加的時候其反射率和穿透率會跟著起變化,當反射率或穿透率走到極值點的時候,就可以知道鍍膜之光學厚度ND是監控波長(入)的四分之一的整倍數。但是極值的方法誤差比較大,因為當反射率或者透過率在極值附近變化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。


  3.定值監控法:此方法利用停鍍點不在監控波長四分之一波位,然后由計算機計算在波長一時總膜厚之反射率是多少,此即為停止鍍膜點。


4.水晶振蕩監控:利用石英晶體振動頻率與其質量成反比的原理工作的。但是石英監控有一個不好之處就是當膜厚增加到一定厚度后,振動頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關系,此時必須使用新的石英振蕩片。


我們可以從以上幾點得知,真空鍍膜它的質量要求還是蠻高的,相信只要掌握以上的特性,我們對真空設備有了更進一步的認識和了解。


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